共聚焦顯微鏡結(jié)合CCD的影像攝取,，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞,，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式,，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù).由于使用了共聚焦的方法,，在測(cè)量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比,，可以更精確量測(cè)物體高度,，建立3D立體影像，優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯,。

中圖激光共聚焦顯微鏡VT6000以共聚焦技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量,，是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能,；

2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量；

3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能,；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

性能特點(diǎn)

1）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：儀器整體由一臺(tái)輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成,，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計(jì),；

2）真彩圖像：配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像,，對(duì)細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),；

3）操作便捷：采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì)，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計(jì)風(fēng)格,，實(shí)現(xiàn)了所見即所得的快速檢測(cè)效果；

4）中圖激光共聚焦顯微鏡采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺(tái),，并對(duì)軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化,，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應(yīng)對(duì)。